郑州市恒塑电子科技有限公司

主营产品：真空炉, 管式炉, 气氛炉, 马弗炉, 镀膜机, 箱式炉, PECVD设备, cvd设备,

삘꜁퐣퐧팠꜁퐧퐣퐣왁

当前位置：首页 > 产品大全 > 试验箱及气候环境设备 > 干燥箱 > PECVD系统管式炉化学气相沉积设备厂家直营可定制

PECVD系统管式炉化学气相沉积设备厂家直营可定制

价格	￥15000.00/台	￥14000.00/台
起订量	≥1	≥5
所在地	河南郑州	可售量 10000台

联系人：罗先生

身份已验证

企业已验证

삘꜁퐣퐧팠꜁퐧퐣퐣왁

手机扫码快速拨号

免费会员第6年

郑州市恒塑电子科技有限公司

联系人：罗先生 (联系时,请说明是在全球塑胶网上看到的)

联系电话：

手机号码：삘꜁퐣퐧팠꜁퐧퐣퐣왁

公司官网： http://www.hengsukeji.com

所在地区：河南省郑州市

主营产品：真空炉, 管式炉, 气氛炉, 马弗炉, 镀膜机, 箱式炉, PECVD设备, cvd设备,

进入店铺

产品分类

最新产品

商品详情联系方式

进入手机版

基本参数

品牌	恒塑	型号	HS-1200K-CVD
加工定制	是	类型	实验室PECVD系统
尺寸	可定制	额定功率	4KW
操作方式	触控	定时功能	有
材质	优质钢板	温度范围	0-1200℃
工作室尺寸	可定制	功率	4KW

产品介绍

功能特点：
在真空压力下，加在电感线圈的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走，称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)
产品用途：
PECVD开启式管式炉系统由管式炉style="box-sizing: border-box;text-decoration:underline;">开启式管式炉、高真空分子泵系统、射频电源系统及多通道高精度数字质量流量控制系统组成，是实验室生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等的理想选择。
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数

控温方式：采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序。
加热元件：0Cr27Al7Mo2
工作电源：AC220V 50Hz/60Hz
额定功率：4kw
炉管材质：高纯石英管
炉管尺寸：Φ60/Φ80*1200mm
工作温度：≤1150℃
最高温度：1200℃
恒温精度：±1℃
恒温区：200mm
升温速度：≤10℃/min
密封方式：不锈钢快速法兰挤压密封
极限真空：6.0×10-5Pa
工作真空：7.6×10-4Pa
产品配置：双级旋片真空泵+分子泵
测量方式：复合真空计
真空规管：电阻规+电离规
冷却方式：风冷
抽速：110L/S
射频电源系统
射频功率输出范围：5~500W
射频频率：13.56MHz±0.005%
噪声：≤55DB
冷却方式：风冷
功率温定度：± 0.1%
混气系统流量规格：0－200sccm （可根据客户需要配置）
线性：±1.5%F.S
准确度：±1.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S.
响应时间：≤8sec
耐压：3MPa
气路通道：4通道（根据客户需求）
针阀：316不锈钢
管道：Φ6mm不锈钢管
接口：SwagelokΦ6mm

联系方式

郑州市恒塑电子科技有限公司

联系人：

罗先生

服务热线：

삘꜁퐣퐧팠꜁퐧퐣퐣왁

公司地址：

郑州高新技术产业开发区枫林路27号4号楼5层507号

该企业其他产品

PECVD系统管式炉化学气相沉积设备厂家直营可定制￥15000元
真空钎焊炉真空烧结炉金属退火回火热处理设备厂家直营可定制真空度及炉膛大小￥15000元

PECVD系统管式炉化学气相沉积设备厂家直营可定制

客服热线：

爱采购专线：

塑胶相关专线：

PECVD系统 管式炉化学气相沉积设备 厂家直营可定制

客服热线：

爱采购专线：

塑胶相关专线：

PECVD系统管式炉化学气相沉积设备厂家直营可定制