代替微探针台(Micro Probe Station) 手动探针台

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郑州科探仪器设备有限公司

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所在地区：河南省郑州市

主营产品：封口机,

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基本参数

精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面可升温到400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。

该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

真空制冷探针台02.jpg

温控器
加热温度	高温型 35-400℃ 低温型室温- -50℃ 注意：热台温度和样品温度存在偏差客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。
温控误差	±1℃
热电偶类型	PT100高精度传感器
温控表	宇电PID温控器
程序控温	1段（可选30段程序控温表）
加热功率	≤300W
加热电源	AC220v
尺寸	230x230x125MM
重量	6kg
真空探针热台
腔体材质	304不锈钢
加工方式	一体式CNC精加工
内腔体尺寸	137X57X21mm 容积165ML
加热台尺寸	Φ35mm
观察窗内径	Φ45mm
观察窗材质	高透光石英玻璃
信号输出头	SMA母头配线 SMA转BNC 1.5米
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
抽气口	KF16
进气口	6MM卡套
使用正压	≤O.05MPa
使用负压	机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa
可扩展配件	气体液体注射口 4芯电信号接头 8芯电信号接头 SMA905 光纤接口扩展5KV高压电极升级30段控温仪表
移动探针
探针规格	探针粗Φ0.5mm 探针尖 10μm
上下移动距离	2.5mm
前后移动距离	±10mm
左右旋转距离	120°