瑞士IDONUS MEMS制造设备红外显微镜

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瑞士IDONUS MEMS制造设备红外显微镜

2020年4月10日刘礼鹏 139-1685-4983

红外显微镜

显微镜配有长工作距离物镜。三步缩放允许用户选择合适的视野和放大倍率。红外敏感相机通过计算机上的USB显示被检查设备的图像。物镜分辨率为5倍时，分辨率优于3 μm。
另外，顶部照明可用。这允许以常规模式使用显微镜并检查晶片的顶侧。红外显微镜配有xy工作台，可容纳8英寸或更小的晶片。桌子是电动的，可以用操纵杆控制。

应用领域

以下两个图像是由红外显微镜拍摄的。第一张图像显示了带有顶部照明的经典显微镜图像。第二张图像是用红外照明拍摄的，并可视化了手柄和设备层之间的SiO2埋层。


在绝缘体上硅（SOI）晶圆上制造的微结构的一部分的俯视图。	HF气相蚀刻60分钟后，相同区域的红外图像。可以看到埋入式SiO2的蚀刻不足，从而可以确定释放和未释放的部分。