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产品用途： 本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺（PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的专用设备，烘箱温度最高可达450℃ 性能特点： 1真空度可达10 Pa 2精体内氧含量：≤20ppm,提供氧含量检测接口 3日本优易控触摸屏，升降温斜率控制 4内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作 型号 ZK-固化系列 内箱尺寸（H*W*D) 20*20*40 30*30*60 控温范围 RT+20℃~450℃ 温度波动 ±0.5℃ 真空度 10pa 氧含量 ≤20ppm 内箱材质 SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate 外箱材质 钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel 保温材料 硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton 保护装置 声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp 功率 9.0 12.0 电源 AC380V±10%3中50HZ |
广州安菲环保科技有限公司天津分公司
联系人：
陈子英
服务热线：
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公司地址：
天津市津南区八里台镇八里台工业园区建设路6号A区751室
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