群弘仪器 FT-333普通四探针方阻电阻率测试仪方阻计四探针测试仪半导体材料电阻测试仪

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基本参数

FT-333普通四探针方阻电阻率测试仪

FT-333 common four probe resistance ratio test instrument

一.描述Description：

采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，提供通讯接口，PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.

二.参照标准standard：

硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）及国家标准设计制造；GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

三.适用范围Applicable scope：

适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析半导体材料质量的工具；液晶显示，自动测量和系数补偿，并带有温度补偿功能，自动转换量程；采用AD芯片控制，恒流输出，选配：PC软件，保存和打印数据，生成报表

用于：覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试等相关产品

四.型号及参数Models and technical parameters

规格型model	FT-333
1.方块电阻范围Sheet resistance	10-3～2×105Ω/□
2.电阻率范围Resistivity	10-4～2×106Ω-cm
测试电流范围Test current	0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA
4.电流精度Current accura	±0.2%
5.电阻精度Resistance	≤0.3%
6.显示读数display	液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.测试方式test mode	普通单电测量general single electrical measurement
8.工作电源power	输入: AC 220V±10%.50Hz功耗：<30W
9.误差errors	≤4%（标准样片结果Standard Sample results）
10.选购功能choose to buy	选购1.pc软件；选购2.方形探头；选购3.直线形探头；选购4.测试平台；5.标准电阻 1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.测试探头Test probe	探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格;探针材质选购：碳化钨针;白钢针；镀金磷铜半球形针Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes. Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.