高纯四氟化碳R14 等离子烛刻气体青岛鲁东厂家直供

价格	￥3000.00/瓶
起订量	≥1
所在地	山东青岛	可售量 10000瓶

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青岛鲁东气体有限公司

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公司官网： www.ludonggas.com

所在地区：山东省青岛市

主营产品：高纯气体, 特种气体, 钢瓶, 杜瓦瓶, 汽化器, 气体及设备配件, 混合气, 标准气,

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基本参数

纯度	99.999%	规格	47L
品牌	鲁东	含量	30kg
CAS	75-73-0	保质期	24个月
产地	山东青岛	外观	钢瓶装
颜色	无色	执行质量标准	国标

产品详情

气体价格根据市场浮动变化，欢迎致电详细咨询

其他各种纯度、钢瓶包装均有售卖，可按照客户的要求配置。

产品名称: 四氟化碳、四氟甲烷、R14

UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品纯度:99.99~99.999%

产品说明:

四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体，充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。

四氟化碳用途

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1：在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
2：可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
3：由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
4.：四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。
注意事项:

四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离钢瓶、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名，注意验瓶日期，先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

四氟化碳八氟环丁烷标准气混合气.jpg