青岛鲁东气体有限公司
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高纯四氟化碳 四氟甲烷 鲁东气体厂家直供

价格 3000.00/瓶
起订量 ≥1
所在地 山东 青岛 可售量 10000瓶

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基本参数

纯度 99.999% 规格 47L
品牌 鲁东 含量 30kg
CAS 75-73-0 保质期 24个月
产地 山东青岛 外观 钢瓶装
颜色 无色 执行质量标准 国标

产品名称: 四氟化碳
其他名称: 四氟甲烷、R14

分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品纯度:99.99~99.999% 

产品说明:

 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于四氟化碳钢瓶中,饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。 

四氟化碳用途

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1:在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
2:可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得451的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
3:由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
4.:四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。
注意事项:

 四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。 

四氟化碳 八氟环丁烷 标准气 混合气.jpg

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