高纯四氟化碳 四氟甲烷 鲁东气体厂家直供
价格 | ¥3000.00/瓶 | |
起订量 | ≥1 | |
所在地 | 山东 青岛 | 可售量 10000瓶 |
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基本参数
纯度 | 99.999% | 规格 | 47L |
品牌 | 鲁东 | 含量 | 30kg |
CAS | 75-73-0 | 保质期 | 24个月 |
产地 | 山东青岛 | 外观 | 钢瓶装 |
颜色 | 无色 | 执行质量标准 | 国标 |
产品名称: 四氟化碳
其他名称: 四氟甲烷、R14
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
产品纯度:99.99~99.999%
产品说明:
四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于四氟化碳钢瓶中,饱和蒸汽压约压力2000 psig。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。
四氟化碳用途
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1:在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
2:可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
3:由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
4.:四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。
注意事项:
四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过60℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运四氟化碳时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
青岛鲁东气体有限公司
联系人:
高经理
服务热线:
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公司地址:
山东省青岛市城阳区黑龙江中路187号盛文国贸大厦C907
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