西安齐岳生物科技有限公司
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镍钒(Ni/V)合金靶材 纯度3N 3N6 4N 现货供应

价格 66/mg
起订量 ≥5
所在地 陕西 西安 可售量 100mg

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基本参数

纯度 99.9% 规格 mg
品牌 西安齐岳 含量 0.9999
用途类别 标准品 用途范围 化学纯CP
产品名称 镍钒(Ni/V)合金靶材 产地 西安
储藏方法 冷藏 包装 软包装
用途 科研 供货方式 现货
是否进口 产地/厂商 西安齐岳生物科技有限公司

镍钒(Ni/V)合金靶材的基本信息:

产品类别: 镍合金靶材

产品名称 :镍钒(NiV)合金靶材

元素符号; Ni V

纯度: 3N, 3N6, 4N

形状 :平面靶 旋转靶 异型定制

镍钒合金靶材,在集成电路制作中一般用纯金做表面导电层,但金与硅晶园容易生成AuSi低熔点化合物,导致金与硅界面粘接不牢固,人们提出了在金和硅晶圆的表面增加一粘接层,常用纯镍做粘接层,但镍层和金导电层之间也会形成扩散,因此需要再有一阻挡层,来防止金导电层和镍粘接层之间的扩散。阻挡层需要采用熔点高的金属,还要承受较大的电流密度,金属钒能满足该要求。所以在集成电路制作中会用到镍溅射靶材、钒溅射靶材、金溅射靶材等。镍钒溅射靶材是在制备镍钒合金靶材过程中,在镍熔体中加入钒,使制备出的合金更有利于磁控溅射,结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点,可一次完成溅射镍层(粘接层)和钒层(阻挡层)。镍钒合金无磁性,有利于磁控溅射,在电子及信息产业中,正在逐步替代纯镍溅射靶材。下图是镍钒 (93/7wt%) 合金溅射靶材的显微金相检测图片,平均粒径100μm。

镍钒靶材制备工艺流程

备料 - 真空感应熔炼 - 化学分析 - 锻造 - 轧制 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 包装


镍钒靶材产品用途:

真空镀膜,实验或研究级别用镍钒靶材,电子,光电,军用,装饰镀,功能落膜等

以下是客户经常购买的纯金属单质靶材,如有金属溅射靶材的需要请来咨询我们。


产品名 元素符号 纯度
钒靶材 V 纯度:3N
铁靶材 Fe 纯度:3N, 3N5, 4N
钴靶材 Co 纯度:3N5
银靶材 Ag 纯度:4N
钼靶材 Mo 纯度:3N5
铌靶材 Nb 纯度:3N5
钽靶材 Ta 纯度:3N5, 4N
钨靶材 W 纯度:3N5
镍靶材 Ni 纯度:3N, 3N6, 4N, 4N5, 5N
钛靶材 Ti 纯度:2N7, 4N, 4N5, 5N
铝靶材 Al 纯度:3N5, 4N, 4N6, 5N, 6N
铬靶材 Cr 纯度:2N5,3N5
铜靶材 Cu 纯度:3N5~6N
硅靶材 Si 纯度:3N~5N
铟靶材 In 纯度:4N5
镓靶材 Ga 纯度:5N
锡靶材 Sn 纯度:5N

QQ截图20210118120052.png

温馨提示:西安齐岳生物提供的所有产品仅用于科研,axc.2021.01.19


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