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镍铂(NiPt)合金靶材 银灰色金属靶材 纯度3N 3N5

价格 88/mg
起订量 ≥5
所在地 陕西 西安 可售量 10000mg

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基本参数

纯度 99% 规格 mg
品牌 西安齐岳 含量 0.9999
用途类别 标准品 用途范围 化学纯CP
产品名称 镍铂(NiPt)合金靶材 产地 西安
储藏方法 冷藏 包装 瓶装
用途 科研 供货方式 现货
是否进口 化学名 镍铂(NiPt)合金靶材
产地/厂商 西安齐岳生物科技有限公司

镍铂NiPt合金靶材银灰色金属靶材纯度3N3N5

产品类别镍合金靶材

产品名称镍铂(NiPt)合金靶材

元素符号Ni Pt

纯度3N、3N5

形状平面靶 异型定制

描述:镍铂合金靶材是一种银灰色金属靶材,熔点1400-1650°C;密度18.63克/厘米3;电阻率29.8 μΩ·cm(20°C)。

镍铂合金靶材制备方法

用镍和铂作为原料。原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭;采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭;对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行热轧,冷轧和再结晶退火处理,形成镍铂合金靶坯;对镍铂合金靶坯进行机械加工,形成镍铂合金靶材。通过高温熔炼,真空电子束熔炼,径向热锻和退火处理,纵向墩粗和退火处理,热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤,获得了成分均匀,纯度高,晶粒细小,氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀,颗粒少的高质量的薄膜.

镍铂合金靶材应用领域

镍铂合金靶材应用于半导体工业。通过磁控溅射,镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜,实现半导体接触及互连。


产品名 元素符号 纯度

铜镓合金靶材 Cu Ga 4N, 5N
铜铟合金靶材 Cu In 4N, 5N
铜铟镓合金靶材 Cu InGa 4N, 5N
钛铝合金靶材 Ti Al 2N8
镁铝合金靶材 Mg Al 3N5
铝硼合金靶材 Al B 3N~5N
铝铜合金靶材 Al Cu 3N~5N
铝硅合金靶材 Al Si 3N~5N


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