镀膜工艺
价格 | ¥1800.00/纳米 | |
起订量 | ≥1 | |
所在地 | 江苏 苏州 | 可售量 10000纳米 |
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真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或非金属以气相的形式沉积到材料表面,形成一层致密的薄膜。镀膜质量对半导体器件的功能形成至关重要。
技术应用
镀膜技术主要应用在微纳半导体器件的制造过程中,金属及ITO材料主要用于电极的制备,其他非金属材料主要用于绝缘介质层和牺牲掩膜层的制备。
工艺能力
掌握镀膜技术:
电子束蒸发磁控溅射LPCVDPECVDALD
镀膜材料:
金属:Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Zn、Mo、W、Ta 、Nb等非金属:Si、SiO2、SiNx、Al2O3、HFO2、MgF2、ITO、Ta2O5等
镀膜基底:
硅片、石英玻璃片、蓝宝石片、PET、Pi等
我们的优势
掌握多种镀膜技术,镀膜材料广泛镀膜厚度范围:5nm-2000nm基底尺寸6英寸向下兼容镀膜均匀性好,膜层致密。
苏州凯发新材料科技有限公司
联系人:
杨经理
服务热线:
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公司地址:
苏州工业园区东旺路8号8幢2楼206室
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