苏州凯发新材料科技有限公司
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镀膜工艺

价格 1800.00/纳米
起订量 ≥1
所在地 江苏 苏州 可售量 10000纳米

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基本参数

加工定制 产地 北京
公差 0.01 形状 圆形
表面处理 不经处理 厚度 不经处理
适用范围 不经处理 重量 不经处理

真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或非金属以气相的形式沉积到材料表面,形成一层致密的薄膜。镀膜质量对半导体器件的功能形成至关重要。

技术应用

镀膜技术主要应用在微纳半导体器件的制造过程中,金属及ITO材料主要用于电极的制备,其他非金属材料主要用于绝缘介质层和牺牲掩膜层的制备。

工艺能力

掌握镀膜技术:

电子束蒸发磁控溅射LPCVDPECVDALD

镀膜材料:

金属:Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Zn、Mo、W、Ta 、Nb等非金属:Si、SiO2、SiNx、Al2O3、HFO2、MgF2、ITO、Ta2O5等

镀膜基底:

硅片、石英玻璃片、蓝宝石片、PET、Pi等

我们的优势

掌握多种镀膜技术,镀膜材料广泛镀膜厚度范围:5nm-2000nm基底尺寸6英寸向下兼容镀膜均匀性好,膜层致密。



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