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东莞市准纳光电科技有限公司
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基本参数
生产地 | 日本 | 所在地 | 东莞 |
坩埚点数 | 24点+28点 | 旋转泵 | VS2401 |
机械升压泵 | EH500 | 扩散泵 | 冷冻U20Px2台 |
外形尺寸 | 3300*2500*1800MM | 重量 | 3300KG |
厂商 |
OPTORUN |
OPTORUN |
SHINCRON |
型号 |
OTFC1300C |
OTFC1300DB |
BMC1300DDI |
序列号 |
S0019 |
S0567 |
980051 |
电子枪(双电子枪有无) |
JST-10F-2GUN |
JST-10F-2GUN |
JST-10F-2GUN |
坩埚点数 |
24点 28点 |
24点x2 |
|
旋转泵 |
VS2401 |
MTR |
|
机械升压泵 |
EH500 |
MTR |
|
扩散泵 |
冷冻U20Px2台 |
22’x2台 |
28’x2台 |
冷冻机 |
无 |
Polycold PFC-670HC |
Polycold PFC-550HC |
离子枪(射频离子源) |
有 |
无 |
RIS-1200-2 |
光学检测有无(光控/精控) |
有 |
有 |
有 |
基板加热heater有无 |
有 |
有 |
有 |
中心回转 |
中心回转 |
日本光驰OTFC-1300镀膜机:主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障,满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。
OTFC-1300镀膜机的基本配置是:搭载了10KV双电子枪,750W的RF射频离子源,光学膜厚监控装置(Optorun制,HOM2-R-VIS350A),低温冷凝器(Polycold),油旋转机械泵 (Edwards E2M275)罗茨机械泵(Edwards EH1200);多点和环型坩埚可镀200层以上,膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上,不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。
下面介绍其中两个特点:
1.光学膜厚测量控制:
OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,这就使生产效率得以显著提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量,并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准,公差更小,可以做到±0.1nm。
2. RF射频离子源:
(1)加工精度高,便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上。
(2)同使用灯丝型的离子源比较,它的寿命长,污染少。
(3)加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工,作为一种微观作用,其宏观压力很小,适合于各种材料和低刚度工件的加工,而且加工表面质量高。
东莞市准纳光电科技有限公司

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钱小姐

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肋륑肋弄됰肋

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茶山镇增卢路186号五号楼101室
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