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东莞市天测光学设备有限公司
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公司官网: http://www.tiance-optical.com/
所在地区:广东省 东莞市
主营产品: 光学影像测量仪,
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基本参数
品牌 | VIEW | 精度 | E1=(0.25+2L/1000)um |
操作方式 | 程序控制 | 测量行程 | 200 x 200 x 5 |
类型 | 光学仪器 | 机台重量 | 12 kg |
售后服务 | 上门服务 | 型号 | Precis 200 |
产地 | 东莞 |
新的Precis? 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统做出来,采用了VMM 公司好的设计和技术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项,使设备好通用可某靠。
扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm
透射照明
完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
符合人体工程学的操作员控制台 ,带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合
全自动显微镜,所有设置计算机控制
某佳分辨率像素摄像头
VIEW Metrology Software (VMS?)可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
标准 可选
X,Y,Z行程(mm): 200 x 200 x 5 载重: 12 kg
XY精度: E1=(0.25+2L/1000)um
Z 精度: E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)
分辨率: 0.01 微米
视场测量精度和重复性:0.01 μm (100x)
直流伺服马达驱动
东莞市天测光学设备有限公司
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张人雷
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广东省东莞市中堂镇北王西路华迅科技园8栋102室
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