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基本参数
品牌 | 中科新蓝 | 型号 | ZK-RTO |
加工定制 | 是 | 执行质量标准 | 行标 |
种类 | 废气处理设备 | 空气净化技术 | 催化燃烧 |
产地 | 广东 | 空速 | 25 |
启燃温度 | 25 | 规格 | 5400*1500*3500mm |
处理风量 | 10000m3/h | 净化率 | 95% |
适用星级 | 三星级 | 经营模式 | 生产加工 |
售后服务 | 一年保修 | 质量认证 | CCC |
适用领域 | 工业废气 | 类型 | 催化燃烧 |
支架 | 有 | 应用场所 | 工业废气处理 |
材质 | 不锈钢 | 处理浓度 | 25 |
半导体行业的废气主要包括一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。其中,有机废气包括非甲烷总烃、氮氧化物、二化硫等,酸碱废气包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些废气的产生主要来自半导体制造过程中的清洗、刻蚀、显影等环节。
对于这些半导体废气处理,需要根据其性质选择合适的方法,如洗涤法、吸附法、燃烧法等。同时,还需要注意控制处理效果,确保废气排放符合的相关标准。
半导体废气处理方法有多种,主要包括以下几种:
热氧化法:将废气在高温下与氧气进行反应,将有机物氧化分解为无害物质。这种方法能够高效处理废气中的有机物,但需要消耗大量的能源,同时也会产生二氧化碳等温室气体。
活性炭吸附法:利用活性炭的吸附作用去除废气中的有机物。这种方法不需要消耗能源,同时也可以回收利用吸附剂中的有机物。
化学洗涤法:通过液体自身的溶解特性,更好地捕捉沉降和溶解去除污染物,从而达到大气排放标准。这种方法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。
吸附浓缩法:沸石转轮吸附浓缩装置主要用于有机废气的治理,特别适合于大风量、低浓度场合。对大风量、低浓度的VOCs废气,TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。
焚烧处理技术:通过热氧化将有机物转化为CO2和H20。同时,焚烧对处理稳定流量和浓度的废气也是一种很好的方法。为节省燃料使用,通常还使用热交换器,回收焚烧产生的热量对进口气体进行预热。
在实际应用中,需要根据废气的种类、浓度、产生量等因素选择合适的处理方法,并注意控制处理效果,确保废气排放符合国家和地方的相关标准。
东莞市中科新蓝科技有限公司
联系人:
李润胜
服务热线:
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公司地址:
塘厦镇138工业区宏业北七路2号
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