东莞市中科新蓝科技有限公司
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  • 主营产品: 活性炭吸附器 水喷淋塔 生物除臭设备 湿式静电除烟设备 催化燃烧设备
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中科新蓝半导体行业废气处理工艺

价格 350000.00/套
起订量 ≥1
所在地 广东 东莞 可售量 10000套

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基本参数

品牌 中科新蓝 型号 ZK-RTO
加工定制 执行质量标准 行标
种类 废气处理设备 空气净化技术 催化燃烧
产地 广东 空速 25
启燃温度 25 规格 5400*1500*3500mm
处理风量 10000m3/h 净化率 95%
适用星级 三星级 经营模式 生产加工
售后服务 一年保修 质量认证 CCC
适用领域 工业废气 类型 催化燃烧
支架 应用场所 工业废气处理
材质 不锈钢 处理浓度 25

半导体行业的废气主要包括一般气体废气、含毒性物质的废气、有机废气和含有酸性/碱性物质的废气。其中,有机废气包括非甲烷总烃、氮氧化物、二化硫等,酸碱废气包括氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。这些废气的产生主要来自半导体制造过程中的清洗、刻蚀、显影等环节。

对于这些半导体废气处理,需要根据其性质选择合适的方法,如洗涤法、吸附法、燃烧法等。同时,还需要注意控制处理效果,确保废气排放符合的相关标准。

半导体废气处理方法有多种,主要包括以下几种:

热氧化法:将废气在高温下与氧气进行反应,将有机物氧化分解为无害物质。这种方法能够高效处理废气中的有机物,但需要消耗大量的能源,同时也会产生二氧化碳等温室气体。

活性炭吸附法:利用活性炭的吸附作用去除废气中的有机物。这种方法不需要消耗能源,同时也可以回收利用吸附剂中的有机物。

化学洗涤法:通过液体自身的溶解特性,更好地捕捉沉降和溶解去除污染物,从而达到大气排放标准。这种方法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

吸附浓缩法:沸石转轮吸附浓缩装置主要用于有机废气的治理,特别适合于大风量、低浓度场合。对大风量、低浓度的VOCs废气,TO直燃炉一般会搭配沸石转轮使用。

焚烧处理技术:通过热氧化将有机物转化为CO2H20。同时,焚烧对处理稳定流量和浓度的废气也是一种很好的方法。为节省燃料使用,通常还使用热交换器,回收焚烧产生的热量对进口气体进行预热。

在实际应用中,需要根据废气的种类、浓度、产生量等因素选择合适的处理方法,并注意控制处理效果,确保废气排放符合国家和地方的相关标准。

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