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真空晶圆搬运机器人-达谊恒手臂

价格 ￥80000/个
起订量 ≥1
所在地 江苏 苏州 可售量 9999个
联系人： 汤洋
企业已验证

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基本参数

品牌 真空晶圆搬运机器人 型号 真空晶圆搬运机器人
是否进口 国产 工作范围 2000
用途 真空晶圆搬运机器人 调试 含
运输 含 应用 真空晶圆搬运机器人

真空晶圆搬运机器人晶圆搬运机械手，达谊恒机器人达谊恒晶圆机器人，半导体产品

达谊恒手臂

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真空晶圆搬运机器人

   参数详解 ※1


型号 Model  UTVW-R2800H
机械手臂形状 Robot Type  4轴圆坐标型 4 axis Cylindrical Coordinate

动作范围

Operation Range

 X-axis  680mm
θ-axis  330°
Z-axis  50mm

最大动作速度

Max. Operation Speed

 X, A-axis
  120°/sec
θ-axis  80°/sec
Z-axis  37.5mm/sec
分解能力     　　
Resolution
 X, A-axis
  0.001mm/pulse or less
θ-axis  0.001°/pulse
Z-axis  0.001mm/pulse
往复位置精度 Repeatability  XYZ方向：各±0.1mm
可搬运重量 Payload  2kg (含手爪   including E/E)
洁净度 Cleanliness  ISO Class 3 (ISO-14644)
本体重量 Mass  85kg
必要设施 Facilities 电源 Power  Single phase 200-220±10% VAC 3A
设置环境 Environment 温度 Temperature  15-40℃ (Atmosphere side)/15-80℃ (Vacuum Seal Unit)
湿度 Humidity  Atmospheric pressure ～ 10-6Pa
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