博科金属TA1高纯度钛圆靶高强度耐腐蚀耐高温定制

价格	￥120/千克
起订量	≥5
所在地	陕西宝鸡	可售量 9999千克

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宝鸡博科金属制品有限公司

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所在地区：陕西省宝鸡市

主营产品：有色金属制品,

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基本参数

品牌	博科金属	材质	钛圆
规格	按照客户需求定制	产地	宝鸡
是否危险化学品	否	熔点	1668℃
牌号	TA1	工艺	热轧锻造
表面	光亮面	用途	航天化工医疗蒸发、镀膜、溅射

温馨提示：我公司产品可根据客户需求加工定制，根据材质、规格不同，价格有所不同，故以上价格参数仅供参考，详情请来电咨询，咨询电话13571763445（微信同号）王经理。

博科金属TA1高纯度钛圆靶高强度耐腐蚀耐高温定制

靶材的主要性能要求

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。例如，随着微电子行业的迅速发展，硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um，以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求，而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

宝鸡博科金属制品有限公司位于工业重城，素有“钛城”美誉的--宝鸡。公司依托“中国钛城”的强大综合实力，进行的资源共享，具备得天独厚的地域、材料、等优势，为用户提供优质的产品。

我公司主要生产钛及钛合金的锻件、钛板、钛棒、钛管、锆板、锆棒、锆铸件及钛铸件，钨、钼、钽、铌、铪等有色金属的产品。公司产品遍布海内外，国内市场包括:北京、广州、上海、天津、四川、内蒙、山东、江苏等地;国际市场包括：美国、日本、德国、澳大利亚、加拿大、东南亚等地区，产品质量受到一致好评，建立很多长期合作关系。

我公司坚持以人为本的管理理念，以科技为支撑、以创新为动力、以质量求发展、以诚信为生命，努力打造成为钛制品行业的领军企业。追求客户与公司的共同发展，欢迎各行业新老客户来电来函洽谈业务！