深圳微纳电子科技有限公司
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1/2/3/4/5/6/8/12英寸单抛硅片双抛硅片氧化硅片本征区熔高阻片

价格 200.00/个
起订量 ≥1
所在地 广东 深圳 可售量 10000个

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基本参数

硅片 单抛 1英寸硅片 双抛
高阻片 氧化 区熔片 12英寸
本征片 8英寸

产品名称:单面抛光硅片

生长方式:直拉单晶

直径与工差:±0.4mm

掺杂类型:N型(掺磷,砷,锑) P型(掺硼)

晶向:<111>\<100>

电阻率: 0.001-50(Ω•cm) 可按客户要求定制

工艺数据:平整度TIR:<3μm 、 翘曲度TTV: <10μm 、弯曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、颗粒度< 10 (for size > 0.3μm)

用途介绍:用于工艺等同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体基底。

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