1/2/3/4/5/6/8/12英寸单抛硅片双抛硅片氧化硅片本征区熔高阻片
价格 | ¥200.00/个 | |
起订量 | ≥1 | |
所在地 | 广东 深圳 | 可售量 10000个 |
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产品名称:单面抛光硅片
生长方式:直拉单晶
直径与工差:±0.4mm
掺杂类型:N型(掺磷,砷,锑) P型(掺硼)
晶向:<111>\<100>
电阻率: 0.001-50(Ω•cm) 可按客户要求定制
工艺数据:平整度TIR:<3μm 、 翘曲度TTV: <10μm 、弯曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、颗粒度< 10 (for size > 0.3μm)
用途介绍:用于工艺等同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体基底。
深圳微纳电子科技有限公司
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林杰
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深圳市龙岗区坂田街道坂田村荣兴大厦第10层A-10A
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