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Trisilylamine-三甲硅烷基胺(TSA)CAS 13862-16-3

价格 10000.00/公斤
起订量 ≥10
所在地 安徽 滁州 可售量 10000公斤

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基本参数

纯度 99.9% 规格 10KG/瓶
CAS 13862-16-3 产地 中国安徽
标准 SEMI

TSA主要用在先进逻辑技术节点及3D NAND位元线主要氧化物填充,它使用流动式化学气相沉积(FCVD)机台来将硅电介质沉积到浅沟槽隔离技术(STI)中。由于3D NAND在存储层中的堆叠层增长,从而增加存储孔的高度

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