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规格手册
光栅系统具有极好的抗污染能力、其超凡的技
术指标更是位置反馈领域的一大新突破。
采用高精度直线钢带和因钢栅尺或圆光栅，在100 m/s
(36 000 rev/min) 的超高速下可实现1 nm的分辨率。
非接触式光栅：
无需电池
宽松的安装公差使安装简单
l 系统精度为± 0.7″（光栅直径
为413mm）
l 角度分辨率为0.01″
l 多种直径和刻线数，与一系列的
工业标准的控制器兼容（直径从
52 m m 到413 m m，刻线数从
4,096 到64,800 ）
l 高速、非接触的光学测量系统
l 零反向间隙
l 具有专利的锥度基面安装方式，
使安装简单、误差最小
l 与高真空兼容
l 外型小巧，易于集成
l 低质量、低转动惯量
l 有100，150 和200 m m 外径的
超低转动惯量的圆光栅可选
RGH20 简介
l 与20μm 栅距RESR 圆光栅兼容
l 光学滤波系统提供优异的抗污迹
能力
l 小巧坚固的外壳
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从5 μm ，1 μm，0.5 μm ，
0.1μm，50nm，20nm 到10nm
l 参考零位或单限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽8 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l14.8mm（或10.5 mm ）×36.
0mm×13.5mm (H×L×W)
l 可选高真空兼容型
RGH41 被用来读取RGS40-S 金属光栅，
而RGH40 则用于读取RGS40-G 玻璃光
栅。同样，标准配置包括有磁性零位
标记和双限位输出。两种读数头型号
都配有雷尼绍独有的L E D 安装指示灯。
RG4 本质上采用了与RG2 相同的光
学原理。但假如这样的话，下面图示中
的红外发光二极管LED 发出的光与光栅
轴线方向成90°反射，而不是与之相平
行。
指示光栅通过与RG2 相同的方式被
定位，以便在检测平面内产生正弦干涉
条纹。
RG4 系列光栅的工作原理允许使用
多种类型的光栅，例如：
1 ）表面涂漆，反面具有自粘层的
RGS40-S 镀金钢带光栅。使用
一系列专用的光栅安装工具，
便可很方便的实现光栅的连续
安装。
2 ）长度较短并需要精度预校准的
镀铬玻璃光栅。雷尼绍提供单
根长度最长为1m 的RGS40-G 玻
璃光栅。
3 ）用户自行设计的反射式刻划直
线光栅和圆钢带光栅
RG4 读数头继承了RG2 短周期误
差小的优点，典型的周期误差为±0.
25μm。RGS40-S 规定的线性度在
60mm 长度上仅有±1μm 并且在任意
1m 的长度上低于±3μm。RGS40-G
玻璃光栅的规格请参阅下页。
RG4 系列产品种类
RGH41
l 与RGS40-S 钢带光栅兼容
l 小巧坚固的外壳
l 宽松的安装调整间隙和公差
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 分辨率从10μm，5μm ，2 μm 到1μm
l 参考零位和双限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽12 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 16.0mm×44.0mm×27.0mm (H×L×W)
RGH34
l 与RGS40-S 钢带光栅和其它40μm 反射光栅兼容
l 与40μm 的RESR 圆光栅兼容
l 超小、紧凑的读数头
l 宽松的安装调整间隙和公差
l 质量<2g
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 紧凑的PCB 接口提供一系列的插补输出
l 分辨率从10μ m，5μ m，2μ m，1μ m，0. 4μ m 到
0.2μm
l FPC 带状电缆
l 参考零位和单限位开关传感器
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 9.5mmX15mmX15mm(HxLxW)
RGH40
l 与RGS40-S 钢带光栅兼容
l 与40μm 的RESR 圆光栅兼容
l 小巧、紧凑的读数头
l 宽松的安装调整间隙和公差
l 内置细分卡和安装LED 指示灯
l 工业标准的数字和模拟信号输出
l 紧凑的PCB 接口提供一系列的插补输出
l 分辨率从10μ m，5μ m，2μ m，1μ m，0. 4ìm 到0.2 μ m
l 参考零位和单限位开关传感器
l 高柔性双屏蔽12 芯电缆
l 三态低电平报警信号或全报警输出
l 17mmX44mmX27mm(HxLxW)
RGH40-G
l 镀铬刻线栅距为40 μ m的玻璃光栅尺
l 标准测量长度有1 2 0 、1 70 、2 2 0 、2 7 0 、3 0 0 、
500、750mm 和1000mm 可选
l 热膨胀系数<8.3 - 8.5ppm/℃
l 精度：± 4.16μ m/m
l 可用金属夹或可选的自粘安装方式
l 同RGH40 读数头系列兼容
G 4 的优点是安装简便、容污性强，这种
优点被用于X Y 系统。紧凑的读数头使用玻璃网格板的“棋
盘”式镀铬刻线作为指示光栅尺，该系列有不同规格。
工作原理
同RG2 和RG4 系统一样，RGH42 读数头的各光学元件读
取来自刻线的和最弱的反射光。因为反射区域和非反射
区域组成的图案使X 轴和Y 轴都有反射光，由读数头中互成
90o的两个光学元件分别读取。
光栅尺
光栅板由热膨胀系数为8μm/m/℃的玻璃制成。镀铬
光栅板X 轴和Y 轴的栅距都是40μm，可与RG4 读数头兼
容。平面光栅的尺寸可达200mmX200mm。
读数头
RGH42 读数头的两个光学元件集成在一个壳体内，分别
读出X , Y 轴的信号并通过两路独立的电缆输出。
读数头输出为1Vpp 的标准模拟量输出，一系列RGE 细
分卡可输出数字量方波信号，分辨率为10 μ m 到0 . 1μ m。
细分卡内置安装LED 指示灯。
读数头的安装面可为顶部、底部或侧面，标准塑料片
可调整安装间隙。
性能
与RG4 读数头一样，RGH42 的周期误差小，典型情况
为± 0.25μ m。专用的平面光栅（70mmX70mm）精度为±
2.5 μ m +SDE（细分误差）。
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北京高控科技有限公司
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于洪超
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