Disilane-Si2H6-电子级乙硅烷-集成电路薄膜沉积材料
| 价格 | ￥25000.00/公斤 | |
| 起订量 | ≥5 | |
| 所在地 | 安徽 滁州 | 可售量 10000公斤 |
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主营产品： 乙硅烷,
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乙硅烷有别于硅烷的特殊化学特性(易分解)，在PECVD、LPCVD制造工艺中其成膜温度比硅烷低很多、成膜速率快、膜质量平滑均匀，乙硅烷分子中含硅量比硅烷高许多，因此，未来乙硅烷将会有广阔的使用空间，目前许多芯片厂开始尝试使用含一定浓度的SiH 4 -Si 2 H 6混合气体。
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