TMAl-三甲基铝-高纯金属有机化合物-ALD前驱体
| 价格 | ￥50.00/克 | |
| 起订量 | ≥100 | |
| 所在地 | 安徽 滁州 | 可售量 10000克 |
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所在地区：安徽省 滁州市
主营产品： 乙硅烷,
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无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.752g/mL。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。
在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜；在半导体制造，用于沉积High-k材料介质薄膜，如Al2O3；同时，TMA还是有机金属化学气相沉积法（MOCVD）制造含铝半导体（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有机金属的重要来源。
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