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主营产品： 乙硅烷,
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基本参数
| 纯度 | 99.9999% | 规格 | 47L/10kg |
| 品牌 | ARGOTECHS | CAS | 7803-62-5 |
| 保质期 | 24个月 | 产地 | 安徽 |
| 类型 | 半导体级别 | 执行质量标准 | 国标 |
硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体,用于各种微电子薄膜制备,包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展:低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大，更高级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。
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