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乙硅烷-Si2H6-半导体用硅基特气

价格 25000.00/kg
起订量 ≥5
所在地 安徽 滁州 可售量 10000kg

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基本参数

纯度 99.998% 规格 47L/10kg
品牌 Argotechs CAS 1590-87-0
保质期 24个月 产地 安徽
类型 半导体级别 执行质量标准 企标

在常温常压下为无色透明气体,具有刺激性气味。d4-250.686,熔点-132.5℃,沸点-14.5℃,它具有与硅烷类似的化学性质,比硅烷不稳定,反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢,在光照下也可分解。在空气中自燃,浓度在0.2%以上时燃烧会发出火焰,浓度低于0.2%时,则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应,但如果是在低温,则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定,应更加小心。

乙硅烷用途:

1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。 在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。

2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和乙硅烷入等技术。在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃。在离子注入中,以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。

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