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电子级高纯硅烷-SiH4-半导体硅基特气

价格 220.00/千克
起订量 ≥10
所在地 安徽 滁州 可售量 10000千克

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基本参数

纯度 99.9999% 规格 47L/10KG
品牌 亚格泰 CAS 7803-62-5
保质期 24个月 产地 安徽
类型 半导体级别 执行质量标准 国标

硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。

硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路,也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大,更高级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。


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