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乙硅烷是一种无机化合物，化学式为H6Si2，在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与六氟化硫接触则爆炸。
用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。
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