Si2H6 Disilane 电子级乙硅烷半导体用电子特气

价格	￥23000.00/KG
起订量	≥5
所在地	安徽滁州	可售量 10000KG

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所在地区：安徽省滁州市

主营产品：乙硅烷,

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基本参数

纯度	99.998%	规格	47L/10KG
品牌	Arogtechs	CAS	1590-87-0
保质期	24个月	产地	安徽
类型	半导体级别	执行质量标准	企标

电子级乙硅烷的用途：

用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和乙硅烷入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。