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超高纯三甲基铝 6N TMA MOCVD化学气相沉积源

价格 350.00/g
起订量 ≥100
所在地 安徽 滁州 可售量 10000g

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基本参数

纯度 99.9999% 规格 750g/瓶
品牌 argotechs CAS 75-24-1
保质期 24个月 产地 安徽
类型 半导体级别 执行质量标准 企标

一般描述

三甲基铝(TMA)是所有有机铝化合物中最具反应性和挥发性的。其非常容易自燃。它可作为高反应性还原和烷化剂。

应用

TMA可用于Ziegler-Natta催化剂的聚合和加氢。TMA主要用于生产甲基铝氧烷,例如:
  • Al2O3的金属有机化学气相沉积(MOCVD)(使用TMA和O2前体)。
  • 使用TMA和甲烷作为铝和碳的原料,将Al4C3生长于Al2O3(0001)上。

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