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主营产品： 乙硅烷,
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基本参数
| 纯度 | 99.999% | 规格 | 22KG/瓶 |
| 品牌 | Arotechs | 含量≥ | 22kg |
| CAS | 993-07-7 | 保质期 | 24个月 |
| 产地 | 安徽 | 执行质量标准 | 欧规 |
三甲基硅烷Trimethylsilane主要用于制造半导体器件的薄膜电介质时化学气相淀积的硅源气体， 可在薄膜电介质上淀积碳化硅、 氧化硅或氮化硅， 是等离子体增强化学气相沉积（ PECVD） 工业的重要原料， 常用PECVD的保护涂层以及镶嵌金属化应用中的低k介电层和阻挡层的PECVD工艺。
| Substance name
|
Content
|
|
| Trimethylsilane
|
99,999
|
%
|
| Hydrocarbons total, not more
|
1
|
ppm
|
| Nitrogen, not more
|
1
|
ppm
|
| Chlorides total, not more
|
1
|
ppm
|
| Carbon dioxide, not more
|
1
|
ppm
|
| Oxygen Argon, not more
|
2
|
ppm
|
| Carbon monoxide, not more
|
2
|
ppm
|
| Water, not more
|
1
|
ppm
|
Physical properties (reference data):
| Molecular weight
|
74,20
|
g/mole
|
| Density at 20
|
0,638
|
kg/m3
|
| Melting point
|
-135,9
|
|
| Boiling point
|
6,7
|
|
| Freezing point
|
- 135,9
|
|
| Major Hazards
|
Flammable
|
|
全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
联系人：
宋永彬
服务热线：
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