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甲基硅烷 电子级 Methylsilane

价格 11000.00/KG
起订量 ≥5
所在地 安徽 滁州 可售量 10000KG

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基本参数

纯度 99.9% 规格 10L/47L
品牌 Argotech CAS 992-94-9
保质期 24个月 产地 安徽
类型 标准料

Methylsilane


甲基硅烷( CH3-SiH3)是半导体器件生产中重

要的硅源气体, 常用于外延化学气相沉积中GeSi-C层的生成。


inear formula CAS № Molecular weight Assay % Density
g/cm3
Refractive index n20/D Melting pointoC Boiling pointoC
CH3SiH3 992-94-9 46,14414 99.9 156,5
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