全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
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主营产品: 乙硅烷,
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甲基硅烷

价格 14000.00/kg
起订量 ≥20
所在地 安徽 滁州 可售量 10000kg

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基本参数

纯度 99.999% 规格 20kg/瓶
品牌 Argotechs CAS 992-94-9
保质期 24个月 产地 安徽

甲基硅烷(CH3SiH3)


是半导体器件生产中重要的硅源气体,常用于外延气相沉积中 Ge-Si-C层的生成。


中文名称:甲基硅烷
英文名称:Methylsilane in cylinder
英文别名:Methylsilane; methylsilicon
CAS号:992-94-9[1]
EINECS号:213-598-5
分子式:CH6Si
分子量:43.12

InChI:InChI=1/CH3Si/c1-2/h1H3


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