AerotechQNP系列压电纳米定位平台

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基本参数

Aerotech QNP系列压电纳米定位平台

关键词：纳米定位平台/压电平台/压电纳米定位台

QNP系列压电纳米定位平台以紧凑，高刚度的封装提供纳米级的性能。多种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。

紧凑包装中的高质量

QNP压电平台受精密挠曲的指导，该挠曲使用有限元分析进行了优化，以确保高刚度和较长的设备寿命。最终的设计提供了出色的刚度和谐振频率，从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外，集成的XY封装程度地减少了平台堆叠高度和移动质量，从而实现了出色的静态和动态多轴性能。

高分辨率和定位精度

所有QNP压电级均采用独特的电容传感器设计，提供闭环反馈选项，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现出色的精度和可重复性。

超精密控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性（抖动）以及高定位带宽。

QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级定位分辨率，但又不需要定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与转接板一起安装。

所有QNP压电平台均可根据要求提供真空制备版本。

设计特点

Model		QNP40XY-100	QNP50XY-250	QNP60XY-500
Closed-Loop Travel		100 μm	250 μm	500 μm
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		120 μm	300 μm	600 μm
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.30 nm	0.50 nm	0.90 nm
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.15 nm	0.20 nm	0.40 nm
Linearity^(3,4)		0.01%	0.01%	0.007%
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		2 nm	2 nm	5 nm
Pitch/Yaw		6 μrad (1.2 arc sec)	6 μrad (1.2 arc sec)	12 μrad (2.5 arc sec)
Stiffness (Direction of Motion)⁽⁶⁾		1.05 N/μm	0.36 N/μm	0.24 N/μm
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾	Top Axis	885 Hz	445 Hz	315 Hz
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾	Bottom Axis	635 Hz	295 Hz	200 Hz
Resonant Frequency (50 gram load)⁽⁶⁾	Top Axis	495 Hz	305 Hz	240 Hz
Resonant Frequency (50 gram load)⁽⁶⁾	Bottom Axis	335 Hz	240 Hz	170 Hz
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁷⁾	Top Axis	600 m/s²	370 m/s²	210 m/s²
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁷⁾	Bottom Axis	320 m/s²	160 m/s²	90 m/s²
Moving Mass (Unloaded)	Top Axis	42 g	56 g	98 g
Moving Mass (Unloaded)	Bottom Axis	79 g	126 g	217 g
Max Payload⁽⁸⁾		1 kg	1 kg	1 kg
Stage Mass		0.11 kg	0.17 kg	0.27 kg
Material		Anodized Aluminum⁽⁹⁾
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours

QNP-Z压电纳米定位平台可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。对于需要紧凑的尺寸，高动态特性和亚纳米级定位分辨率，但又不需要定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。

可选的安装板可直接安装到英制或公制面包板光学平台上。QNP系列还包括-L和-XY位移台，其中公共行程与转接板一起安装。

机械规格^（¹^）