Aerotechqnp2双轴三轴压电纳米定位平台

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基本参数

产品特性	压电平台	加工定制	是
品牌	aerotech	型号	qnp2
货号	qnp3	种类	qnp2
规格尺寸	1	是否跨境货源	否

Aerotech qnp2 双轴压电纳米定位平台

关键词：纳米定位平台/压电平台/压电双轴定位平台

QNP2系列XY并联运动压电定位平台在紧凑，小巧的封装中结合了亚纳米级分辨率，高动态性能和出色的几何性能。QNP2系列压电平台具有大的，清晰的孔径，闭环行程可达200 μm x 200 μm（开环行程为240 μm x 240 μm）。该设计非常适合光学显微镜，扫描探针显微镜，X射线透射显微镜或需要两侧零件访问的其他检查或制造应用。

XY双轴压电陶瓷平台：

移至240 μm x 240 μm
大方形透明光圈，70 mm x 70 mm
通过并联运动设计实现出色的多轴精度
高刚度和动态特性，可实现高工艺产量
高精度，无摩擦的挠性导向
正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能
设备寿命长
具有直接计量电容传感器的出色定位分辨率和线性度
开环和真空版本

Mechanical Specifications

Model		QNP2-100XYA-030	QNP2-100XYA-100	QNP2-150XYA-200
Closed-Loop Travel (X x Y)		30 μm x 30 μm	100 μm x 100 μm	200 μm x 200 μm
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		36 μm x 36 μm	120 μm x 120 μm	240 μm x 240 μm
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.1 nm	0.30 nm	0.40 nm
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.03 nm	0.15 nm	0.20 nm
Linearity^(3,4)		0.02%	0.01%	0.01%
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		4 nm	1 nm	1 nm
Straightness		25 nm	10 nm	10 nm
2D Flatness (Over Full XY Travel)		15 nm	5 nm	15 nm
Pitch		5 μrad (1 arc sec)	1.5 μrad (0.3 arc sec)	1.5 μrad (0.3 arc sec)
Yaw		5 μrad (1 arc sec)	12 μrad (2.5 arc sec)	20 urad (4 arc sec)
Stiffness (in direction of motion)⁽⁶⁾		33 N/μm	2.1 N/μm	1.7 N/μm
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾		2400 Hz	565 Hz	375 Hz
Resonant Frequency (200 gram load)⁽⁶⁾		1725 Hz	380 Hz	290 Hz
Max Payload⁽⁷⁾		1 kg	1 kg	3 kg
Maximum Acceleration (Unloaded)⁽⁸⁾		400 m/s²	170 m/s²	40 m/s²
Moving Mass (Unloaded)		0.14 kg	0.14 kg	0.5 kg
Stage Mass		0.36 kg	0.48 kg	1.2 kg
Material		Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 hours	30,000 hours	30,000 hours

XYZ双轴压电陶瓷平台：

QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的小尺寸封装中结合了亚纳米分辨率，高动态特性和出色的几何性能。QNP3系列压电平台具有大的，清晰的孔径，闭环行程可达200 μm x 200 μm x 20 μm（开环行程为240 μm x 240 μm x 25 μm）。该设计非常适合光学和扫描探针显微镜或其他检查或制造应用，这些应用需要通过三个DoF操作来进行两侧零件的访问。

移至240μmx 240μmx 25μm
大方形透明光圈，可达66 mm x 66 mm
通过平行运动设计实现出色的多轴精度
高刚度和动态特性，可实现高工艺产量
高精度，无摩擦的挠性导向
正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能
设备寿命长
具有直接计量电容传感器的出色定位分辨率和线性度
开环和真空版本

Model		QNP3-100XYAZ-030-10	QNP3-100XYAZ-100-10	QNP3-150XYAZ-200-20
Closed-Loop Travel (X x Y x Z)		30 μm x 30 μm x 10 μm	100 μm x 100 μm x 10 μm	200 um x 200 um x 20 um
Open-Loop Travel, -30 to +150 V⁽¹⁾		36 μm x 36 μm x 12 μm	120 μm x 120 μm x 12 μm	240 um x 240 um x 25 um
Resolution⁽²⁾	Closed-Loop	0.1 nm (XY); 0.15 nm (Z)	0.30 nm (XY); 0.15 nm (Z)	0.4 nm (XY), 0.15 nm (Z)
Resolution⁽²⁾	Open-Loop	0.03 nm (XY); 0.05 nm (Z)	0.15 nm (XY); 0.05 nm (Z)	0.2 nm (XY), 0.1 nm (Z)
Linearity^(3,4)		0.02% (XY); 0.04% (Z)	0.01% (XY); 0.02% (Z)	0.01% (XY); 0.02% (Z)
Bidirectional Repeatability⁽⁵⁾		4 nm (XY); 3 nm (Z)	2 nm (XY); 1 nm (Z)	2 nm (XY); 2 nm (Z)
Straightness		25 nm (XY); 50 nm (Z)	<10 nm (XY); <20 nm (Z)	10 nm (XY); 40 nm (Z)
2D Flatness (Over Full XY Travel)		10 nm	<5 nm	<10 nm
Pitch		10 μrad (2.1 arc sec) (XY) 6 μrad (1.2 arc sec) (Z)	2 μrad (0.4 arc sec) (XY); 6 μrad (1.2 arc sec) (Z)	2 urad (0.4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z)
Yaw		5 μrad (1 arc sec) (XY) 5 μrad (1 arc sec) (Z)	10 μrad (2.1 arc sec) (XY); 5 μrad (1 arc sec) (Z)	20 urad (4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z)
Stiffness (in direction of motion)⁽⁶⁾		10 N/μm (XY); 25 N/μm (Z)	1.9 N/μm (XY); 13 N/μm (Z)	1.3 N/μm (XY); 8.7 N/um (Z)
Unloaded Resonant Frequency⁽⁶⁾		1850 Hz (XY); 2200 Hz (Z)	490 Hz (XY); 1425 Hz (Z)	330 Hz (XY); 910 Hz (Z)
Resonant Frequency (200 gram load)⁽⁶⁾		950 Hz (XY); 1390 Hz (Z)	350 Hz (XY); 910 Hz (Z)	260 Hz (XY); 670 Hz (Z)
Max Payload⁽⁷⁾		1 kg	1 kg	3 kg
Max Acceleration (Unloaded)⁽⁸⁾		400 m/s² (XY); 2000 m/s² (Z)	115 m/s² (XY); 2000 m/s² (Z)	35 m/s2 (XY); 1000 m/s2
Moving Mass (Unloaded)		0.24 kg (XY); 0.05 kg (Z)	0.21 kg (XY); 0.05 kg (Z)	0.58 kg (XY); 0.10 kg
Stage Mass		0.53 kg	0.56 kg	1.3 kg
Material		Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾	Anodized aluminum⁽⁹⁾
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours	30,000 Hours	30,000 Hours

精密并联运动设计

QNP2压电位移台采用平行运动的弯曲和计量设计，可确保水平的多轴精度。借助经过FEA优化的精密挠曲，以确保高刚度和长使用寿命，QNP2位移台具有一流的刚度和共振频率，从而实现了高工艺通量和快速的闭环响应。

使用正在申请专利的驱动器设计，可将偏航误差最小化，同时仍保持符合Abbe标准的计量系统。这种设计可在整个XY行程空间内实现无与伦比的定位性能。

亚纳米性能

所有QNP2压电级均可提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。独特的电容传感器并行测量设计可测量定位支架的输出，直接实现亚纳米分辨率，低于0.01％的线性误差和一位数纳米可重复性。

超精密控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP2位移台具有亚纳米级的定位分辨率，在位稳定性（抖动）和高定位带宽。诸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包之类的软件选件提供了许多先进而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。还提供OEM驱动器选件。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电平台，伺服系统，步进器和振镜之间的高速，严格控制的协调运动。